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2014年2月26日 · 本发明涉及一种板式PECVD镀膜载板,属于太阳能光伏电池制造领域。主要特点是载板基体与挂钩间固定过渡平台,本发明通过在挂钩处的硅片与载板基体之间设置了一个平台,使硅片边缘的等离子在镀膜过程中的流体特性不受载板基体的阻挡而改变,从而大大改变硅片边缘的色差问题,本发明结构
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