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2021年7月27日 · PVD 技术是制备薄膜材料的主要技术之一,指在真空条件下采用物理方法,将某种物质表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基板材料表面沉积具有某种特殊功能的薄膜材料的技术。 在PVD 技术下,用于制备薄膜材料的物质,统称为 PVD 镀膜材料。 经过多年发展,PVD 技术已成为目前主流镀膜方法,主要包括 溅
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