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2023年7月26日 · 本发明揭示了一种真空顺序沉积制备钙钛矿薄膜的装置及方法和应用,包括:将基底和至少一个第一名加热舟置入具有第一名真空度的第一名腔室内,并使盛装有一种以上无机盐的第一名加热舟处于基底下方,加热,沉积无机盐薄膜;将表面沉积有无机盐薄膜的
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