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2021年9月25日 · 1.本发明涉及光伏领域,具体涉及一种晶硅太阳能电池扩散用石英舟的清洗与饱和方法。背景技术: 2.扩散工序是晶体硅太阳能电池制造过程中制备pn结的工序,石英舟用于重复装载硅片放置在扩散石英炉管中完成扩散工艺。 扩散工艺过程中主要通过三氯氧磷气体与氧气在高温下的反应在硅片表面
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