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针对真空蒸镀法制备高质量钙钛矿薄膜的技术,对真空蒸镀的基本工作原理及应用于钙钛矿薄膜制备的真空设备系统进行介绍,并以钙钛矿太阳能电池光电转换效率为切入点,介绍基于真空蒸镀技术制备钙钛矿太阳能电池器件及优化其光电转换效率的研究进展。 探究真空蒸镀设备改进策略 (温控系统和蒸发源设置)、蒸镀工艺条件 (投料量、蒸镀距离、蒸镀时间、室体内压力、薄膜退火温度
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